從有電子束檢測開始，市占率就大約是在 10 到 15 % 左右，光學檢測的市佔率也一直都維持在 85 到 90 % 左右

以手機應用晶圓製造為例，電子束檢測需要七天的檢查，用光學檢測只需要七分鐘。