禮拜二破真空把東西裝好抽下去以後..Scroll pump聲音就一直怪怪的
禮拜三我先找個KF的valve封住讓Scroll pump自己抽自己..聽起來蠻正常的
他說之前來我們實驗室就覺得turbo聲音聽起來怪怪的..果然出問題了
我之前有一次有聽過異常高頻音..不過我把turbo拆下來..稍微調整一下前面那片濾網..聲音就有正常許多
不過秋嶔說廠商之前來的時候還是覺得聲音還是不太對..
門諾的valve..bake完整個chamber都是油
之前FIM也有個all metal的angle valve被他修完整個軸心歪掉
一般真空元件給他我是很放心..但閥門真的不行..後來又來兩個要裝之前檢查也是一堆油..結果他跟我說那是可以進真空的油..可能指-5的真空吧
哈哈~ 那也是真空啊! 都是油要怎麼辦? 拿去洗
後來整個chamber所有零件拆下來..蕭先生帶了幾個嘍囉來把它們搬回去洗阿..