劉德音:台積3奈米進度超前 - 工商時報ref
「台積電製程及製造能力可以讓世界上多數人受益」

劉德音以「釋放創新未來(Unleashing the Future of Innovation)」為演說主題,指出半導體製程微縮腳步並未減緩,摩爾定律仍然有效,台積電3奈米比預期進度超前,至於2奈米之後的電晶體架構將轉向環繞閘極(GAA)的奈米片(nano-sheet)架構,
而極紫外光(EUV)技術可支援到1奈米。